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关键词:
Reliability of Mems: Testing of Materials and Devices
书目信息
ISBN:
9783527314942
本馆索书号:
中图分类号:
TN
中文译名:
作者:
Osamu Tabata
编者:
语种:
英语
出版信息
出版社:
Wiley-VCH
出版地:
出版年:
2013
版本:
版本类型:
原版
丛书题名:
卷期:
文献信息
关键词:
前言:
摘要:
This volume is divided into two major parts following a general introductory chapter - the reliability of materials and that of devices. In the first part, the mechanical properties of the materials used in MEMS are examined and the necessary measuring technologies explained in detail - nanoindenters, bulge methods, bending tests, tensile tests, and others. Part two treats the actual devices, organized by important device categories such as pressure sensors, inertial sensors, RF MEMS, and optical MEMS.
内容简介:
目次:
全文链接:
http://www.itextbook.cn/f/book/bookDetail?bookId=4baf1df3fdaa406bb5c2ac69dba885ef
读者对象:
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页码:
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原版ISBN:
书评:
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